【摘 要】
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报道了全平面C波段功率单片放大器及四单片合成放大器研究结果。单片放大器采用全离子注入工艺，均匀性好，平均成品率40％，可靠性高。工作频率4．7—5．2GHZ，中心频率5．0GHz处输出功率2．5W
【机 构】
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报道了全平面C波段功率单片放大器及四单片合成放大器研究结果。单片放大器采用全离子注入工艺，均匀性好，平均成品率40％，可靠性高。工作频率4．7—5．2GHZ，中心频率5．0GHz处输出功率2．5W，增益15dB，功率附加效率31．5％。单片放大器芯片面积2．8mm×2．0mm，四路合成的4×MMIC频率范围不变，中心频率4．95GHz处输出功率8．2W，增益13dB，功率附加效率26％，四路合成效率接近80％。实验结果与理论预测基本吻合。
The full-scale C-band power monolithic amplifier and four monolithic synthetic amplifiers are reported. Monolithic amplifier using ion implantation process, good uniformity, the average yield of 40%, high reliability. Working frequency 4.7-5.2GHZ, the center frequency of 5.0GHz output power of 2.5W, gain 15dB, additional power efficiency of 31.5%. Monolithic amplifier chip area of 2.8mm × 2.0mm, four-way synthesis of 4 × MMIC frequency range unchanged at the center frequency of 4.95GHz at 8.2W output power, gain of 13dB, power added efficiency of 26%, the synthesis efficiency of four Nearly 80%. The experimental results are in good agreement with the theoretical predictions.
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