切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
DUV光致抗蚀剂的研究进展(Ⅰ)--主体成膜高分子部分
DUV光致抗蚀剂的研究进展(Ⅰ)--主体成膜高分子部分
来源 :信息记录材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fisher58
【摘 要】
:
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光高分子的结构与组成,可以获得性质优良的抗蚀
【作 者】
:
杨凌露
张改莲
余尚先
【机 构】
:
北京师范大学,化学系,北京,100875
【出 处】
:
信息记录材料
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
DUV光致抗蚀剂
矩阵树脂
产酸源
阻溶剂
化学增幅
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光高分子的结构与组成,可以获得性质优良的抗蚀剂.
其他文献
形态构成在室内设计中的运用研究
随着社会的不断发展,人民对于自身居住空间要求也越来越高.社会上越来越多人开始重视室内设计的形态样式,因此,室内设计是目前时代发展的必然趋势.基于此,本文对形态构成在室
期刊
室内设计
形态构成
玉米:粮源紧俏 玉米市场涨声一片
山东深加工企业开工率明显上升,拉动玉米需求有所恢复。但是华北地区粮源枯竭,河北、山东贸易商的库存量微乎其微,用粮企业只能调高收购价格吸引粮源,或是依靠东北玉米外运进关以
期刊
玉米市场
深加工企业
收购价格
华北地区
贸易商
开工率
库存量
山东
北京市居民膳食中新型溴代阻燃剂暴露水平研究
目的研究北京市居民通过膳食摄入6种新型溴代阻燃剂暴露特征。方法采用大气压气相色谱-串联质谱法(APGC-MS/MS)测定北京市总膳食样品中二甲基四溴苯(pTBX)、五溴甲苯(PBT)、
期刊
溴代阻燃剂
膳食
北京市居民
新型溴代阻燃剂
六氯环戊二烯
总膳食样品
膳食摄入
溴乙苯
暴露水平
暴露量
车站布局与站房选址的关系研究
车站布局型式一般分为线平式、线下式、高架站房等几种形式,采用什么样的布局型式与车站规模及车站周边地形紧密相关.基于车站规模的要求,大型站房一般需设置有子站房、高架
期刊
车站布局
站房选址
平面布局
竖向布局
子站房
车站广场
可信计算的研究及其发展
论文针对可信计算技术,介绍了其相关组织和标准,并对其核心技术可信平台模块进行了较为详细的分析,最后针对其在国内外的发展状况进行了展望。
期刊
可信计算
TCG
TPM
机械制造与自动化中节能设计理念的探究
随着科学技术的发展,为机械制造业带来全新的制造观念,同时结合生态环保的要求,机械制造业更注重自动化和节能的结合.为实现机械制造与自动化中节能设计要求,应加强自动化处
期刊
机械制造
自动化
节能设计
北京市西城区小学生自评体型与饮食运动行为分析
目的了解北京市西城区小学生自评体型与饮食运动行为现状,为制定相关干预措施提供科学依据。方法选取北京市西城区4所小学1 370名学生,使用“西城区小学生饮食运动健康调查问
期刊
饮食运动
北京市西城区
体型
饮食习惯
行为分析
行为现状
测量身高
体育锻炼
心理健康
健康调查问卷
学用《湖南农业》典型养鸡大户袁国吾
户主 袁国吾,全家4口人.rn住址 新化县向红工业园商贸区.邮码:4176000rn最初订阅时间2003年.rn2007年养鸡规模和效益 自2003年以来,他一直在家少量饲养土鸡,以杂志为教材,理
期刊
湖南
农业
养鸡技术
理论联系实际
土鸡
饲养
新化县
工业园
成活率
住址
学会
效益
小康
销售
商贸
教材
荒山
户主
订阅
产值
宝来利来的微生态国际舞台——专访山东宝来利来生物股份有限公司董事长单宝龙
动物微生态行业目前在全球没有一个相应的行业组织,一定程度上限制了行业之间的交流与合作。宝来利来此次发起的泰山国际动物微生态技术创新论坛,为行业提供一个国际性交流与合
期刊
微生态
国际性
宝来
董事长
行业组织
股份
生物
山东
高层建筑中转换层结构的设计分析
越来越多的高层建筑采用转换结构形式,为了提升高层建筑的整体质量水平,本文分析了高层建筑中转换层结构的设计.
期刊
高层建筑
转换层
结构设计
与本文相关的学术论文