过渡金属碳化物,氮化物和硼化物在电子工业中的应用

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Ⅳ-Ⅴ族过渡金属与碳C,氮N,硼B形成的化合物电子导电性好,硬度大,熔点高。本文综述了这些过渡金属碳化物,氮化物和硼化物的结构,性能及在电子器件工业中的应用。
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