目前工业机器人使用的动力源有电气式、液压式、气动式、机械式及真空吸附和磁力式等,在电气式动力源中多用DC伺服电机和步进电机。DC伺服电机与微型机相结合,可以完成各种控制,所以被广泛的应用于各种工业机器人上。直线运动的部件直接采用直线电机驱动。由于不需要运动转换机构,所以具有高速、高精度的优良控制性能。不断发展和改进的步进电机由于能适应多种控制形式而在工业机械人中得到广泛的普及。在液压动力源中,喷嘴挡板式电液伺服阀可获得高精度的位置和速度控制是应用最广泛的控制元件。气动式动力源所使用的介质是可压缩的气体,所以给控制带来很大困难,只限于在单纯作双位置动作控制时采用。 为了实现动力源的小型、高输出,多自由度,文章还报道了目前正在开发的超声波马达、记忆合金驱动元件以及生物微型机械手用压电动力源等。