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激光划片机
激光划片机
来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:uk1030
【摘 要】
:
<正> 半导体元件通常是格状地淀积在硅或锗制成的基质材料上,其上包含几百个到几千个单器件与电路。经过加工与检验后,必须把每个"细片"或"印模"分开,这样才能装入组合件中。
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
1971年04期
【关键词】
:
划片机
半导体元件
光学系统
激光器
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<正> 半导体元件通常是格状地淀积在硅或锗制成的基质材料上,其上包含几百个到几千个单器件与电路。经过加工与检验后,必须把每个"细片"或"印模"分开,这样才能装入组合件中。
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