Study of the Growth Mechanism of CVD of Diamond by Using HREELS

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The low-pressure chemical vapour deposition (CVD) of diamond takes place under the temperature-pressure condition under which diamond is metastable with respect to graphite. Atomic hydrogen corrodes graphite at a rate of two orders of magnitude higher than that for diamond. Atomic hydrogen at superequilibrium concentration sup-presses the formation of graphite but not that of diamond. This creates a condition under which the formation of diamond is kineticaUy preferable. It is generally believed The low-pressure chemical vapor deposition (CVD) of diamond takes place under the temperature-pressure condition under which diamond is metastable with respect to graphite. Atomic hydrogen corrodes graphite at a rate of two orders of magnitude higher than that for diamond. Atomic hydrogen at superequilibrium concentration sup-presses the formation of graphite but not that of diamond. This creates a condition under which the formation of diamond is kineticaUy preferred. It is generally believed.
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