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化学束外延
化学束外延
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:langcy
【摘 要】
:
本文介绍了化学束外延(CBE)的发明和发展,论述了CBE的原理和设备。文中还介绍了最近提出的一种生长机理。
【作 者】
:
谢诗菁
【机 构】
:
机械电子工业部第48研究所长沙410111
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
化学束外延
化合物半导体
薄膜
Film growth CBE(Chemical Beam Epitaxy)
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本文介绍了化学束外延(CBE)的发明和发展,论述了CBE的原理和设备。文中还介绍了最近提出的一种生长机理。
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