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激光烧蚀-电感耦合等离子体质谱（LA-ICP-MS）技术不仅可以对导体及非导体进行元素的成分含量分析，而且还可进行元素分布及涂层深度表面微区分析，故在元素分析领域引起广泛的关注。主要介绍了LA-ICP-MS的仪器装置及其表面微区分析理论，同时对LA-ICP-MS在钢铁、有色金属及半导体等材料科学领域中的元素分布及涂层深度表面微区分析应用进展情况进行回顾，与 SEM/EDS（扫描电子显微镜/能谱仪）、EPMA（电子探针微区分析）、AES（俄歇电子能谱）等传统经典的表面分析方法的比较，LA-ICP-MS具有无