石英晶体表面溅射成膜及频率偏离特性的研究

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提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成 Ti N薄膜 ,研究了 Ti N薄膜的性能及其频率偏离特性。对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景。 TiN thin films were proposed on the surface of quartz crystal by magnetron sputtering. The properties of TiN thin films and their frequency deviation characteristics were also studied. Bio-quarantine and liquid viscosity and other dynamic determination of a broad application prospects.
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