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矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术
矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术
来源 :煤矿安全 | 被引量 : 0次 | 上传用户:joeybaobao
【摘 要】
:
压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感
【作 者】
:
王秋蓉
【机 构】
:
辽宁石油化工大学
【出 处】
:
煤矿安全
【发表日期】
:
2008年03期
【关键词】
:
压力传感器
敏感元件
温度补偿
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压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法。
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