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压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法。
矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术
【摘 要】
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压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感
【机 构】
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辽宁石油化工大学
【出 处】
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煤矿安全
【发表日期】
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2008年03期
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