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采用脉冲激光沉积法制备了钴酸锂薄膜，系统地研究了镀金工艺、衬底材料和氧分压对钴酸锂薄膜形貌和性能的影响。结果表明采用直流磁控溅射技术镀金容易导致其上面钴酸锂薄膜开裂；衬底材料不仅影响着薄膜中颗粒大小还影响颗粒形貌，在Si衬底上制备的钴酸锂薄膜颗粒最小，平均粒径为50nm，且颗粒为球型。随着氧分压的提高，钴酸锂薄膜电极的首次放电比容量依次升高。当氧分压为10Pa时，薄膜电极的首次放电容量达到27．9uAh／cm^2·um。