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介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法，即连续流和动力学方法。在漂流-扩散方程的连续流模型和单元粒子/蒙特卡罗碰撞动力学模型的基础上，提出了一个等离子体工艺模型。讨论了对等离子体鞘层、等离子体刻蚀和淀积过程的模拟方法，提出了一个高密度等离子体工艺总体模型的初步方案。
高密度等离子体工艺总体模型初探
【摘 要】
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介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法，即连续流和动力学方法。在漂流-扩散方程的连续流模型和单元粒子/蒙特卡罗碰撞动力学模型的基础上，提出了一个等离子体工
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国防科技预研基金，教育部跨世纪优秀人才培养计划
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