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为了提高GIS设备内部缺陷诊断水平,提出利用电感耦合等离子体质谱技术(ICP-MS)为GIS内部缺陷分析提供参考依据。介绍了气体分析技术和局部放电检测技术的优、缺点,分析了GIS设备各部位在热和电作用下生成固体分解产物的机理,阐述了ICP-MS技术检测原理。通过3个应用实例验证了ICP-MS技术在GIS内部缺陷分析的作用。应用结果表明,ICP-MS技术通过分析固体分解产物的组成和含量,可为GIS设备缺陷分析提供有力证据。