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期刊论文
激光在微电子器件制造中的应用
激光在微电子器件制造中的应用
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxd80509
【摘 要】
:
本文比较系统地介绍了激光在半导体微电子器件制造中的应用。对准分子激光器与光刻技术、激光图形发生,全息掩模与硅片检测、掩模缺陷激光修补与激光化学气相沉积,以及其它方
【作 者】
:
冯伯儒
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所成都
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1991年5期
【关键词】
:
半导体器件
制造
激光
激光器
光刻
Laser applications in industry
Laser photoetching
Excimer l
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本文比较系统地介绍了激光在半导体微电子器件制造中的应用。对准分子激光器与光刻技术、激光图形发生,全息掩模与硅片检测、掩模缺陷激光修补与激光化学气相沉积,以及其它方面的一些激光应用作了比较详细的叙述。
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