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本发明提供一种电化学电镀系统，包括一个或多个用于储存电镀溶液的电镀池液池和与所述一个或多个电镀池液流体连通的化学分析器用于测量电镀溶液的化学浓度。该电镀系统还包括管道系统，用来提供所述一个或多个电镀池液池和化学分析器之间的流体连通，并且将化学分析器与电镀池液池及其生产的电噪音基本隔离。
中国专利：用于测量电镀溶液的化学浓度的系统和方法
【摘 要】
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本发明提供一种电化学电镀系统，包括一个或多个用于储存电镀溶液的电镀池液池和与所述一个或多个电镀池液流体连通的化学分析器用于测量电镀溶液的化学浓度。该电镀系统还包括
【机 构】
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美国应用材料公司
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2008年2期
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