离子镀铝青铜膜的XTEM研究

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本文利用透射电镜对离子镀铝青铜膜进行横截面显微组织研究结果表明:整个膜层分为细等轴晶、细纤维状及柱状晶三种不同形态的生长区并且柱状晶主要以孪晶方式生长膜中存在NiAIl Cu_9Al_4合金相,与基体取向关系为:讨论了膜层成核和生长过程发现气相沉积膜层中存在生长条纹
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