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摩尔定律是20世纪后40推动IC发展的、科学的规律总结。进入21世纪,随着IC集成度进一步提高,连线层数的增加,硅片(芯片)面积的增大,这些将给IC工艺技术、加工方式和生产设备带来新的变化,摩尔定律是否能持续下去,人们将拭目期盼!
登高望远美景无限新世纪微电子技术的发展
【摘 要】
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摩尔定律是20世纪后40推动IC发展的、科学的规律总结。进入21世纪,随着IC集成度进一步提高,连线层数的增加,硅片(芯片)面积的增大,这些将给IC工艺技术、加工方式和生产设备带
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
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世界产品与技术
【发表日期】
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2001年3期
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