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作为一种广泛应用的表面表征工具，扫描探针显微镜SPM）仅可以表征三维形貌，还能定量地研究表面的粗糙度、孔径大小和分布及颗粒尺寸，在许多学科均可发挥作用．综述了国外最新的几种扫描探针显微表征技术，包括扫描隧道显微镜（STM）、原子力显微镜（AFM）和近场扫描光学显微镜（SNOM）等方法，以纳米材料为主要研究对象，展示了这几种技术在表征纳米材料的结构和性能方面的应用．