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将Ｘ射线衍射峰位移法引入用于测量Ｆｅ－Ｍｎ－Ｓｉ合金的层错几率α，所需要的精确点阵常数由数值计算获得，并评价内应力引起的峰位移对测量结果的影响，内应力引起的α测量值相对误差约４％，因而可忽略不计。研究结果表明，随Ｍｎ含量的减少或训练次数的增加，α增加，值得指出的是，峰位移法可用来测量单一的形变α，而不像峰位移法给出两种层错几率之和，其中β是生长层错几率。