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首先概括了功能薄膜的特性、制备方法及其应用领域。然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构及应用。最后,利用微空心阴极放电设计了一种新型制备功能薄膜的装置,对该装置的设计过程、工作原理和特点进行了详细的论述。
一种制备功能薄膜的新型装置的设计
【摘 要】
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首先概括了功能薄膜的特性、制备方法及其应用领域。然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构及应用。最后,利用微空心阴极放电设计了一种新型制备功能薄膜的装置,对该装置的设
【机 构】
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湖北师范学院物理与电子科学学院
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2011年11期
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