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一种预抽真空氮基气氛保护下无内氧化的渗碳方法，属于金属材料热处理领域。本发明通过向设有炉内循环风机的热处理炉进行预抽真空至10～100Pa，通入高纯氯气，再将炉温升至900～1050℃，保温后再通入乙炔气进行渗碳，炉膛内氮气的压力为1×10^5-1.1×10^5Pa，充入的乙炔分压为5000-20000Pa。本发明在防止碳黑产生和环保的同时实现工件少无氧化均匀渗碳，又能降低成苓，同时还具有安全性好、环保等优点。