一种新型触针式曲面形貌测量系统

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介绍一种用于曲面形貌特性的测量-分析系统,在触针技术的基础上,采用激光-光栅干涉和散斑干涉条纹微机细分技术并利用计算机图形学原理,解决高精度曲面表面形貌测量问题,讨论了系统工作原理、光电信号处理、软件设计及曲面数据处理模型,给出了初步实验结果。
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