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介绍一种用于曲面形貌特性的测量－分析系统，在触针技术的基础上，采用激光－光栅干涉和散斑干涉条纹微机细分技术并利用计算机图形学原理，解决高精度曲面表面形貌测量问题，讨论了系统工作原理、光电信号处理、软件设计及曲面数据处理模型，给出了初步实验结果。
一种新型触针式曲面形貌测量系统
【摘 要】
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介绍一种用于曲面形貌特性的测量－分析系统，在触针技术的基础上，采用激光－光栅干涉和散斑干涉条纹微机细分技术并利用计算机图形学原理，解决高精度曲面表面形貌测量问题，讨论了系统
【机 构】
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华中理工大学测试技术与科学仪器研究中心
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1994年9期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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