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利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石
利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石
来源 :工业金刚石 | 被引量 : 0次 | 上传用户:szhanyc
【摘 要】
:
尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合
【作 者】
:
石川丰
蒋修治
【机 构】
:
不详,日本
【出 处】
:
工业金刚石
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
热丝化学气相沉积
铁衬底
金刚石
源气体喷射
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尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。
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