【摘 要】
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用同步辐射Ｘ光微区分析和全反射Ｘ射线荧光分析技术测定了硅中掺杂元素砷浓度的三维分布。其中深度剖面分布的测定结果与二次离子质谱进行了对照，两者的一致性是比较满意的。
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用同步辐射Ｘ光微区分析和全反射Ｘ射线荧光分析技术测定了硅中掺杂元素砷浓度的三维分布。其中深度剖面分布的测定结果与二次离子质谱进行了对照，两者的一致性是比较满意的。
The three-dimensional distribution of doping arsenic in silicon was measured by synchrotron radiation X-ray microanalysis and total reflection X-ray fluorescence analysis. The results of depth profile distribution were compared with those of secondary ion mass spectrometry. The consistency between the two was satisfactory.
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