【摘 要】
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利用现代干涉测量方法测量薄膜厚度具有全场测试、高精度和非接触性测量的优点,其核心是用合理的算法从干涉图中获得所需的被测面面形及参数。该方法的基础和关键是对所采集到的干涉图进行图像预处理。就干涉图的采集及其预处理技术提出了一种干涉图预处理的方法,该方法利用数学形态学对干涉图进行有效区域的边缘提取,利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓,并采用非加权离散余弦变换(DCT)最小二乘算法对干涉图进行波面统一,最终恢复出薄膜的被测面形,为后续精确获取薄膜厚度信息奠定基础。对一个实际SiO2
【机 构】
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西安工业大学光电工程学院,陕西西安710032
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利用现代干涉测量方法测量薄膜厚度具有全场测试、高精度和非接触性测量的优点,其核心是用合理的算法从干涉图中获得所需的被测面面形及参数。该方法的基础和关键是对所采集到的干涉图进行图像预处理。就干涉图的采集及其预处理技术提出了一种干涉图预处理的方法,该方法利用数学形态学对干涉图进行有效区域的边缘提取,利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓,并采用非加权离散余弦变换(DCT)最小二乘算法对干涉图进行波面统一,最终恢复出薄膜的被测面形,为后续精确获取薄膜厚度信息奠定基础。对一个实际SiO2薄膜样片进行了干涉图的采集以及预处理。结果表明,通过本算法得到的干涉图预处理结果,与Zygo干涉仪的分析测试结果基本一致。
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