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为了进行光刻物镜恒温水套先期设计分析，采用相似性原理设计了一个恒温水套的小比例模型实验，并采用数值仿真的办法，证明了该小比例模型实验设计方法的正确性。首先根据恒温水套的结构形式给出了传热控制方程。接着对各控制方程进行分析，得出了稳定传热情况下模型实验设计的相似准则。然后根据相似准则设计了一个光刻物镜恒温水套的1：4小比例模型。最后通过数值仿真分析了1：4小比例模型及原型上的热场分布，计算结果表明它们之间的热场分布具有相似性。结论表明：在进行光刻物镜恒温水套小比例模型的稳定传热实验设计时，需要满足几何相似、