亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用

来源 :2014年核磁共振技术及应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wwwzhaozhiqiang

【摘要】

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本文介绍了基于光反射原理的热成像技术的需求背景、技术原理、性能参数和典型应用,该技术可以实现200nm-300nm之间的空间分辨力,可以有效地分析微小结构的热分布情况,且能实

【作者】

：

翟玉卫梁法国吴爱华

【机构】

：

中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051

【出处】

：

2014年核磁共振技术及应用研讨会

【发表日期】

：

2014年9期

【关键词】

：

电子器件热分布测试光反射热成像技术空间分辨力

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本文介绍了基于光反射原理的热成像技术的需求背景、技术原理、性能参数和典型应用,该技术可以实现200nm-300nm之间的空间分辨力,可以有效地分析微小结构的热分布情况,且能实现低频、高频的瞬态热成像.其突出的空间分辨力适用于微电子器件及MEMS器件的温度检测;同时由于可见光反射率随材料特性的变化,该技术在半导体材料测试方面还存在一些不足.目前,该技术在国外已经被广泛地用于光电子器件、微电子器件、MEMS器件的热分布测试与分析的工作.

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