磁流变液体光学及半导体元件抛光方法

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磁流变抛光工艺(TMP)是终端计算机控制的半导体抛光,几何精确率高,这种抛光在磁场的作用下充分利用了磁流变液体(MRZH),在这种磁场下液体的粘稠会增加可塑性,可以抛光各种材料。项目描述:磁流变抛光工艺(TMP)借助于各种结构的磁流变模具(MMP,是插图中所展示的各种磁流变模具之一)实施抛光。磁流变模具(MMP)属于基础车床,其示意图和结构不受光学和半导体零件材料的型号及品种限制,磁流变抛光设备完全是自动化的,电脑控制,而且它区别于传统抛光设备,不用给每个需要抛光的部分测量尺寸。
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