适于SMT的微波混合集成电路制造工艺

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通过对微波混合集成电路采用SMT进行批生产的前提条件———薄膜电路的焊接性能进行了理论分析和实验研究,得出了铜薄膜体系(CrAuCuAu)工艺最适于满足SMT要求的微波混合集成电路的制作,并给出了制作实例。 Through the theoretical analysis and experimental research on the precondition of using SMT for batch production of hybrid microwave integrated circuit (SMT), the welding performance of the thin film circuit is analyzed theoretically and experimentally. The microwave hybrid integrated Circuit production, and gives a production example.
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