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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(二)
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所 上海200050上海应用技术学院,上海200050,上海200050,上海200050
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2002年12期
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