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运用等效媒质理论对亚波长结构的抗反射表面进行了分析,设计出了一种抗反射表面结构,并利用二元光学制作工艺技术,对这种表面进行了实验制备.测试结果表明,这种表面结构就像单层抗反射膜一样,具有很好的增透效果,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率,而刻蚀深度则相当于镀层的四分之一波长厚度.
亚波长结构对10.6 μm的抗反射表面的研制
【摘 要】
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运用等效媒质理论对亚波长结构的抗反射表面进行了分析,设计出了一种抗反射表面结构,并利用二元光学制作工艺技术,对这种表面进行了实验制备.测试结果表明,这种表面结构就像
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系,
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2001年8期
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