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采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器，选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜，从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理。阐述了该传感器的结构与工艺流程，并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性。实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性，该传感器可以检测到10^-6量级的NO2气体，且响应时间快。