论文部分内容阅读
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发展微型惯性器件。
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
【摘 要】
：
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠
【机 构】
：
航天工业总公司十六研究所
【出 处】
：
仪器仪表学报
【发表日期】
：
1996年S1期
其他文献
加入WTO后，我国商业银行面临着巨大的冲击，同时也出现前所未有的机遇，如何破解那些最严峻的“冲击点”，成为我国商业银行渡过难关，谋求发展的关键，本文试图对这些问题进行一些分析
伊丽莎白·毕晓普是美国现代著名女诗人,她的诗歌以娴熟的技巧、丰富的想象等多种现代手法的交叉运用而著称。蒙太奇是个电影术语,用来分析文学作品还为数不多。本文试从
当今世界,互联网络是继报纸、广播、电视三大媒介之后崛起的"第四媒介",它的影响远远超越了传统意义的媒体,正转变着人们的认识习惯、思维习惯和生活习惯。对此,有人雀跃、有
目的比较股骨近端防旋髓内钉（proximal femoral nail anti—rotation，PFNA）和锁定加压钢板（locking compression plate，LCP）在治疗老年不稳定型股骨粗隆间骨折的临床疗效。方法回顾
目的:探讨小儿肺炎较常见病原肺炎克雷伯杆菌对临床常用抗生素的敏感性与临床用药.方法:对我院住院肺炎患儿中分离的40株肺炎克雷伯杆菌的临床及药敏情况进行分析.结果:40例
近年来在国内用肝素治疗喘息性疾病的报道日渐增多,我科对部分住院的婴幼儿哮喘患儿加用小剂量肝素钙治疗,疗效满意,现报道如下.
新时代的高中政治教学要将课本知识有效地传输给学生,就需要引入教学趣味性,这样才能达到事半功倍的效果。为此,可以从三个方面入手:一是考虑知识的有用性;二是知识性和趣味
木偶戏是我国重要的非物质文化遗产之一,历史悠久。由于数字、媒体、音像等高新技术演绎出的新的艺术娱乐形式的出现,木偶表演艺术不断被边缘化,其发展道路越来越狭窄,几乎消
目的:为合理选用钙剂治疗佝偻病提供参考依据.方法:选择国内市场26种钙剂,以婴幼儿轻度活动期佝偻病为例,计算出一个疗程所需每种钙剂总量的费用,并进行药物经济学最小成本分
车辆的振动测试通常在道路上进行,而试验分析需要带回实验室进行处理.这样一来,车辆的振动测试试验周期长,并且在测试中所需仪器繁多而复杂.基于图形化编成语言LabVIEW组建的