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随着各国经济的不断发展,科技水平的也不断提高,现代短波光学、强光光学、电子学以及薄膜学等也得到了一定发展,同样,各种电子以及光学元件的性能也在一定程度上得到了提高。但是,对于现在电子以及光学元件的性能仍需进行进一步的提高,提高电子以及光学元件的性能主要可以通过对其进行化学机械抛光,使得其能够达到超光滑的表面。本文主要针对光学晶体加工中化学机械抛光的运用进行分析。