【摘 要】
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旋转倾斜真空蒸发ＳｉＯ的方法能同时蒸镀多个基片，并且可在蒸发源和基片距离较短时蒸发。 拍摄了ＳｉＯ薄层的电子显微镜照片。用上述方法制作了三种液晶显示器件。
The method of rotat
【机 构】
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清华大学基础课,北京地质仪器厂,北京化工厂
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旋转倾斜真空蒸发ＳｉＯ的方法能同时蒸镀多个基片，并且可在蒸发源和基片距离较短时蒸发。 拍摄了ＳｉＯ薄层的电子显微镜照片。用上述方法制作了三种液晶显示器件。
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