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利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度
利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yxs
【摘 要】
:
<正>为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以
【作 者】
:
费龙
钟先信
【机 构】
:
重庆大学光电精密机械研究所
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
加速度传感器
阵列传感系统
灵敏度
横向效应
【基金项目】
:
国家教委博士点、国家自然科学基金资助课题
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<正>为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以
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