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TGY30型高压单晶炉机械设计与制造
TGY30型高压单晶炉机械设计与制造
来源 :石油化工设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huaihuaitaizi
【摘 要】
:
对高压带衬里结构单晶炉的密封与结构设计、主要材料选择以及制造、检验作了简要介绍.
【作 者】
:
董占美
薛武鹏
【机 构】
:
西安核设备有限公司,西安理工大学
【出 处】
:
石油化工设备
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
TGY30型
高压单晶炉
机械设计
制造
半导体
GAAS
密封
crystal furnace
design
manufacture
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对高压带衬里结构单晶炉的密封与结构设计、主要材料选择以及制造、检验作了简要介绍.
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