论文部分内容阅读
在对掩模图形的生成机理进行研究的基础上,提出用扫描线法生成基于STL数据模型的掩模.针对大数据量的轮廓边扫描效率较低的问题,改进传统的扫描算法:重新定义边数据结构,将边表分为3个动态区间以存储相应的边,从而实现了在无需判断截面曝光域与非曝光的情况下,直接借助边表填充截面轮廓,快速生成具有多层嵌套关系的排模图形.该方法可避免构建与维护活动边表,简化扫描线算法的实现过程,同时可解决传统算法较难解决的奇点问题.