AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ruyingxiangsui1989

【摘要】

：

为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜

【作者】

：

李永富唐恒敬朱耀明李淘殷豪李天信李雪龚海梅

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,中国科学院研究生院

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2010年6期

【关键词】

：

扫描电容显微镜(SCM) 激光束诱导电流(LBIC) 光生载流子扩散保护环 INP/INGAAS scanning capacitance microscop

【基金项目】

：

Supported by Key Program of National Science Foundation of China（50632060）

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为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜（SCM）获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流（LBIC）技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而

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