【摘 要】
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本文研究了氮分压、溅射电流、膜厚对氮化钽膜电性能的影响。找出了制备低温度系数、高稳定性、高精度氯化钽薄膜电阻器的最佳工艺条件。
The effects of nitrogen partial
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本文研究了氮分压、溅射电流、膜厚对氮化钽膜电性能的影响。找出了制备低温度系数、高稳定性、高精度氯化钽薄膜电阻器的最佳工艺条件。
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