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<正> 真空微电子器件,是一类基于真空中电子输运机理而应用固态微电子器件中的微细加工技术制造的新型器件。它既具有电子在真空中高迁移率的优点又具有固态微电子器件的几何尺寸小、份量轻、功耗低等优点;还具有比固态微电子器件更宽的工作温度范围和更强的抗辐射能力。它是90年代电子学科中兴起的一个新的研究领域。