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MEMS技术作为微电子技术应用的新突破,促进了现代信息技术的发展.牺牲层技术是MEMS应用中的关键,用以实现结构悬空和机械可动.本文介绍了MEMS技术发展中的几种牺牲层技术,并进行了简要评述.
MEMS中的牺牲层技术
【摘 要】
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MEMS技术作为微电子技术应用的新突破,促进了现代信息技术的发展.牺牲层技术是MEMS应用中的关键,用以实现结构悬空和机械可动.本文介绍了MEMS技术发展中的几种牺牲层技术,并
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年2期
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