MOCVD生长的InGaN薄膜中的相分离

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ellen

【摘要】

：

利用X射线衍射(XRD)测量用MOCVD生长的InGaN样品。观察到InN相．通过X射线衍射理论，计算得到InN相在InGaN中的含量．通过退火和变化生长条件发现InN相在InGaN薄膜中的含量与生长时

【作者】

：

陆曙童玉珍陈志忠秦志新于彤军胡晓东张国义

【机构】

：

北京大学物理学院,北京大学物理学院

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

相分离 INGAN INN XRD MOCVD phase separationInGaNInNXRDMOCVD

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利用X射线衍射(XRD)测量用MOCVD生长的InGaN样品。观察到InN相．通过X射线衍射理论，计算得到InN相在InGaN中的含量．通过退火和变化生长条件发现InN相在InGaN薄膜中的含量与生长时N2载气流量、反应室压力和薄膜中存在的应力有关．进一步的分析表明InGaN合金中出现InN相的主要原因是相分离．

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