【摘 要】
：
基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,兰州大学物理科学与技术学院,
论文部分内容阅读
基于传统束线离子注入在制造器件源漏超浅结时面临的挑战,介绍了一种新的超浅结的制造方法——等离子体浸没离子注入技术,总结了该技术在制造超浅结时的优点,阐述了放电方式、线圈结构、偏压电源等系统核心部件的设计,自行设计并搭建了等离子体浸没离子注入系统。采用ESPion高级朗缪尔探针测试和计算流体力学模拟方法对比研究了等离子体的特性,结果显示,在一定功率范围内等离子体密度随放电功率增加类似线性地增加;采用二次离子质谱仪对B和P的注入样片进行深度剖析,给出了偏压为-500V时B和P的注入深度分布曲线,表明注入时间既影响注入剂量,又影响峰值的位置和注入深度。
其他文献
面对基层人民检察院检委会工作在实践中存在的问题,应当从人员组成、职级规格、监督责任机制与机构规范等方面出发,加强基层检察院检委会工作的专业化建设。
本文就在织布工推行计件工资后,在槽筒、验布、横机工也推行计件工资时涉及到的各工种计件工资的确定思路、计件单价的确定,具体操作要点等问题作一探讨。
元典教学是一个极具价值的教育思想,它让人们清楚地知道,我们的教育究竟哪里出了问题,该如何去解决这些问题。元典教学不仅具有长期效应,其短期效果也是"看得见,摸得着"的。
为了降低道路的噪声,以某国道为依托工程,在对材料的调查分析基础上,通过构建低噪声路面动力学分析模型,并赋予依托工程的道路实际材料参数,仿真计算得到普通路面与试验路面
歧北凹陷深层普遍存在异常压力 ,压力系数为 1.2～ 1.6,纵向上分布有 4套幅度不等的高幅泥岩欠压实带 (超压带 )形成压力封隔层 ,即Ed +Es上1、Es中1、Es2 、Es3等 4套泥岩超压
"忠恕之道"是孔子仁学伦理中重要的道德内容。"己所不欲,勿施于人"和"己欲立而立人,己欲达而达人"的行仁之方是重要的道德准则和道德律,它所提倡的将心比心、推己及人、宽以
学术自由是经典大学理念之一。其核心既包括主体即机构的自由和个体的自由,又包括内容即教师教学、科研的自由和学生学习的自由两大方面。美国的宗教信仰和言论自由为德国学
介绍一种利用philips公司生产的p87LPC764单片机作为I2C总线控制器与I2C总线显示器件SAA1064构成的“米”字形LED显示器电路,并给出相应的程序清单。
法律人才的培养,特别是法官的培养,关系到一国法制建设的根本,是一个国家法制建设所必不可少的基础环节。本文比较分析了大陆法系及英美法系具有代表性国家的法律人才培养模
<正>产后出血仍然是全球孕产妇死亡的最主要原因,大约每4例孕产妇死亡中就有1例是由产后出血所致[1],而这一比例在发展中国家远远高于发达国家。产后出血所致的孕产妇死亡99%