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采用sol-gel法制备In2O3薄膜材料,研究了不同制备条件对薄膜电阻的影响;分别用XPS、XRD方法对材料进行了分析,确定了其结构和组成,并用此薄膜材料制作了直热式气敏元件,发现它对乙醇、丁烷气体具有较高的灵敏度.
Sol—Gel法制备低阻In2O3薄膜
【摘 要】
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采用sol-gel法制备In2O3薄膜材料,研究了不同制备条件对薄膜电阻的影响;分别用XPS、XRD方法对材料进行了分析,确定了其结构和组成,并用此薄膜材料制作了直热式气敏元件,发现
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2001年4期
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