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线形同轴耦合式微波等离子体CVD法是在硬质合金微型钻头（微钻）表面沉积金刚石涂层的最佳方法之一。本文首先研究了酸碱两步预处理后微钻表面的形貌和成分,然后研究了微钻工作表面金刚石的沉积情况,最后重点研究了正偏压对微钻不同位置金刚石生长的影响。结果表明,在微钻上施加50 V正偏压时,金刚石薄膜具有最佳的形貌和较好的均匀性。