【摘 要】
：
应用电解水氧化显结法能够显示出硅平面器件管芯内部的PN结构。本文通过剖析几种实际的硅平面器件,显现硼、磷等杂质原子通过SiO2掩膜窗口在硅中的扩散分布。具体测量了横向
论文部分内容阅读
应用电解水氧化显结法能够显示出硅平面器件管芯内部的PN结构。本文通过剖析几种实际的硅平面器件,显现硼、磷等杂质原子通过SiO2掩膜窗口在硅中的扩散分布。具体测量了横向扩散的深度yi,它比纵向扩散结深Xi要小得多,不论掩膜窗口的宽度是大是小,yj总是小于Xj。说明了显示和考察器件的纵向结构参数,对于合理使用扩散工艺条件的意义。讨论了缩小器件尺寸,改进有关器件参数设计的必要性和可能性。同时,探讨了硼、磷等杂质通过SiO2掩膜窗口在硅中扩散的基本理论问题。指出杂质横向扩散现象与自建电场相联系。文中附有实物照片。
其他文献
通过对光学层析技术中光线偏折角方程进行傅里叶变换 ,推导出了一种可以适用于位相物体三维折射率场的数学再现公式———卷积背投影公式 针对实际运算 ,采用了线性内插函数
目的观察和爽(聚乙二醇电解质散)在结肠镜检查前清洁肠道的效果。方法行结肠镜检查患者60例随机分成和爽组(n=30)和甘露醇组(n=30),分别采用和爽和甘露醇行肠道准备,比较肠腔
计算机多媒体技术、Internet网络技术的不断深入和教育理论的迅速发展为教学模式的改革提供了必需的手段。教学领域正发生着深刻的教育改革，就是要在先进的教学理念——建构主
德育和职业素质培养是医学教育人才培养的重要内容。本文通过对成都市医学院校学生职业道德素养状况以及学校职业道德教育状况的调研和分析,探讨了医学生职业道德教育的路径
格助词“”确实有很多意义用法,它可以表示地点、时间、对象、原因等等。一般对于它的研究也只是始终围绕着它的很多意义用法展开而已,而对于它们很多意义用法之间的相互关系
目的系统评价早期运动疗法对脑卒中偏瘫患者的康复效果。方法计算机检索PubMed、Web of Science、The Cochrane Library(2014年7期)、EMbase、CNKI、VIP和WanFang Data数据库
日语中由单个汉字构成的サ变动词正处于演变进化过程之中,本文使用语料库对典型的单汉字サ变动词作了分类分析,发现"信"这一类动词已经基本上完成了向一段的过渡,"愛" 这一类
在传统的桩基成孔施工中,冲孔桩施工作为一种相对成熟的施工工艺,且因其经济性和安全性在国内广泛应用。受冲孔桩机工作原理的制约,噪音污染很难避免,特别是对于设备相对老化
目的研究社区基本公共卫生服务成本。方法通过文献研究和专题讨论建立备选指标库,然后通过两轮德尔菲法专家咨询确定"基本公共卫生服务标准";采取分层随机抽样方法抽取60家社
王阳明心学关学大体可归纳为: “良知之美”、“意动之美”、“知行之美”,其诗歌、散文以及戏曲理论能充分体现出他的美学思想。阳明心学美学对四明文学的影响,主要是通过其