【摘 要】
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文章应用单纯型法,对CO2激光制作孔径为100μm的盲孔参数进行优化.以盲孔的真圆l度和上下孔径比为优化目标函数,经优化过程获得最佳工艺参数,并对最佳工艺参数进行实验验证.
【机 构】
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重庆大学化学与化工学院,重庆401331博敏电子股份有限公司,广东梅州514000电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都610054
【出 处】
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2013中日电子电路秋季大会暨秋季国际PCB技术/信息论坛
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文章应用单纯型法,对CO2激光制作孔径为100μm的盲孔参数进行优化.以盲孔的真圆l度和上下孔径比为优化目标函数,经优化过程获得最佳工艺参数,并对最佳工艺参数进行实验验证.根据水平效应关系对影响CO2激光钻孔的因素进行效应分析,从而确定因素之间的主次关系.结果表明,最佳工艺参数为:脉宽13.8μs,脉冲能量14.8mJ,脉冲次数2,光圈(Mask)2.2mm,所得盲孔孔型最好,真圆度达到99.32％,上下孔径比为82.36％.对真圆度影响的主次关系是:脉冲能量＞脉冲宽度＞脉冲次数＞Mask;对上下孔径比影响的主次关系是:Mask＞脉冲能量＞脉冲宽度＞脉冲次数.该方法得到的最佳工艺参数能够为实际生产提供参考.
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