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局部洁净空间的设计
局部洁净空间的设计
来源 :科技创新导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chsmfzh
【摘 要】
:
近来,一些电子厂家将整体洁净车间拆除,只在一些关键工位采用局部洁净空间(Mini Environment,M.E)以降低维护成本和生产开销。本文结合工程经验,给出一些局部洁净空间主要部位
【作 者】
:
叶征春
何春梅
【机 构】
:
华东交通大学机电工程学院,华东交通大学信息工程学院
【出 处】
:
科技创新导报
【发表日期】
:
2010年35期
【关键词】
:
局部洁净空间
洁净度
性能评价
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近来,一些电子厂家将整体洁净车间拆除,只在一些关键工位采用局部洁净空间(Mini Environment,M.E)以降低维护成本和生产开销。本文结合工程经验,给出一些局部洁净空间主要部位的设计步骤,提出了局部洁净空间的评价标准,并总结了设计中应该注意的相关事项。
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