自持TiO2纳米管阵列薄膜与TiO2/FTO透明光电极制备工艺的研究

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利用电化学阳极氧化法,采用三步氧化工艺,成功制备出大面积高度有序、孔洞分布均匀、孔道垂直取向且与金属钛基相分离的自持TiO2纳米管阵列膜。然后将其转移粘接至FTO导电玻璃上,形成高度有序的TiO2/FTO纳米管阵列透明光电极。利用场发射扫描电镜、X射线衍射仪、紫外-可见-近红外分光光度计分别对样品的形貌、晶相结构以及光学特性做了表征。研究表明,由三步阳极氧化工艺制备的自持TiO2纳米管阵列膜,其结构参数(如管径、管长及管壁厚度)在很大范围内可控,将其转移粘结至FTO导电玻璃上能制成多种用途的高质量透明光电极;另外,阳极氧化电压对TiO2纳米管阵列薄膜的光学能隙(Eg)也有较为明显的调制作用。显然,这项新工艺对基于TiO2纳米有序阵列复合结构的有机-无机光电器件的应用研究将是非常有益的。 The self-sustaining TiO2 nanotube arrays with large area, orderly distribution, uniform pore distribution, vertical orientation of the pores and separation from the titanium substrate were successfully prepared by the electrochemical anodic oxidation method and the three-step oxidation process. Then, it was transferred and bonded to the FTO conductive glass to form a highly ordered TiO2 / FTO nanotube array transparent photoelectrode. The morphology, crystal phase structure and optical properties of the samples were characterized by field emission scanning electron microscopy, X-ray diffraction and UV-Vis-NIR spectroscopy. The results show that the self-sustaining TiO2 nanotube arrays prepared by the three-step anodic oxidation process have a wide range of controllable structural parameters (such as tube diameter, tube length and tube wall thickness), and they are transferred and bonded to FTO conductive glass On the other hand, the anodic oxidation voltage has a significant modulation effect on the optical energy gap (Eg) of the TiO2 nanotube array film. Obviously, this new technology will be very beneficial to the application of organic-inorganic photoelectric devices based on TiO2 nano-ordered array composite structure.
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